產(chǎn)品中心

ABB OA-ICOS? GLA231

ABB OA-ICOS 氣體分析儀采用離軸積分腔輸出光譜（OAICOS）技術(shù)，能夠高精度、高靈敏度地測量HF、HCL、NH3及H2O等氣體，適用于半導(dǎo)體晶圓廠的工藝流程檢測、氣相沉積室監(jiān)測及FOUP監(jiān)測。其多氣體配置、亞ppb級濃度測量能力及優(yōu)化的數(shù)據(jù)處理···...

獲取報價 →

詳情介紹

ABB OA-ICOS GLA231在線ICOS方法酸堿分析儀（離軸激光）

功能和優(yōu)勢

? 支持 HF、HCI、NH3 的單氣體或多氣體配置

? 提供高精度、準(zhǔn)確的 H2O 測量結(jié)果

? 提供 0-5V 和 4-20 mA 模擬輸出（標(biāo)配），可選Modbus TCP

? 優(yōu)化數(shù)據(jù)處理，在測量亞 ppb 級別濃度時，實(shí)現(xiàn)優(yōu)異性能

? 提供觸控數(shù)字顯示屏，顯示氣體濃度和分析儀的狀態(tài)

? 提供主要密碼保護(hù)，確保分析儀和數(shù)據(jù)安全

? 優(yōu)化的零氣性能，確保可靠地確認(rèn)過程事件

? 提供可定制的校準(zhǔn)套件和性能認(rèn)證文件包

? 堅固耐用；所需的維護(hù)工作少且花費(fèi)較低

? 可輕松更換長期受到污染的部件（過濾器）和正常老化部件（泵隔膜）

? 服務(wù)工程師可現(xiàn)場診斷并更換其他大多數(shù)部件

? 鏡面清潔可現(xiàn)場進(jìn)行，無需在工廠費(fèi)時維修

技術(shù)參數(shù)

GLA231-EAA

項目（氣體）	NH?	H?O
精度 (1σ)	<1ppb (1秒) <0.3 ppb (10秒) <0.1 ppb (100秒)	<50 ppm (1秒) <20 ppm (10秒) <10 ppm (100秒)
檢測限 (LOD)	0.3 ppb (100秒)	50 ppm (100秒)
準(zhǔn)確性 *	±0.3 ppb 或讀數(shù)的5%，以較高者為準(zhǔn)	>7,000 ppm = 1% FSD
不同分析儀的結(jié)果差異（相對于平均值，10秒）	±0.4 ppb 或讀數(shù)的5%，以較高者為準(zhǔn)	≤1000 ppm = ±10%
線性測量范圍	高達(dá) 10,000 ppb	高達(dá) 30,000 ppm
樣品流量 (ppm)	1.4-2.4
響應(yīng)時間 (T??, T??)	10秒

GLA231-HFHC & HF

項目（氣體）	HCl**	HF	H?O
精度 (1σ)	<0.3 ppb (1秒) <0.1 ppb (10秒) <0.035 ppb (100秒)	<0.1 ppb (1秒) <0.05 ppb (10秒) <0.025 ppb (100秒)	<25 ppm (1秒) <10 ppm (10秒) <5 ppm (100秒)
檢測限 (LOD)	0.1 ppb (100秒)	0.075 ppm (100秒)	25 ppm (100秒)
準(zhǔn)確性 *	±0.15 ppb 或讀數(shù)的5%，以較高者為準(zhǔn)	±0.1 ppb 或讀數(shù)的5%，以較高者為準(zhǔn)	>7000 ppm = 1% FSD
不同分析儀的結(jié)果差異（相對于平均值，10秒）	±0.2 ppb 或讀數(shù)的5%，以較高者為準(zhǔn)	±0.2 ppb 或讀數(shù)的5%，以較高者為準(zhǔn)	≤ 1000 ppm = ±10%
線性測量范圍	高達(dá) 2,000 ppb	高達(dá) 2,000 ppb	高達(dá) 30,000 ppm
樣品流量 (ppm)	1.1-1.9
響應(yīng)時間 (T??, T??)	25秒	25秒