在線監(jiān)測系統(tǒng)，既避免了人工巡檢的人為因素對潔凈室環(huán)境的干擾，也滿足獲得連續(xù)生產(chǎn)數(shù)據(jù)的要求。
ESKY-VOCs主要由傳感器陳列模塊、多路采樣器、控制柜以及在線軟件監(jiān)控系統(tǒng)4個部分組成。設(shè)備通過多路采樣器配套的大泵完成遠(yuǎn)距離抽樣，之后再通過微型小泵進行傳感器精準(zhǔn)送樣，實現(xiàn)精準(zhǔn)采樣量以及過濾控制；利用專利高效能微氣相色譜諧技術(shù)（GC），可實現(xiàn)定制化VOC分離效能。
采用復(fù)合傳感器組合，實現(xiàn)做低VOC檢測限（＜ppb）；部署帶有RAID1磁盤陣列保護服務(wù)器，實現(xiàn)豐富的圖表數(shù)據(jù)展示。
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