隨著科技的快速發展，污染源類型日益呈現出多元化、動態化的特征。在潔凈室環境中，氣態分子污染物（AMC）已成為繼空氣懸浮粒子之后又一個影響環境質量的關鍵因素。潔凈室內存在各種AMC的釋放源，其污染物釋氣對潔凈室及相關受控環境的質量具有決定性影響。因此，控制潔凈室內的AMC濃度，是提升產品良品率的關鍵。目前，針對這項污染物的檢測與評估工作正愈發受到關注。

材料釋氣檢測關注的核心點

根據國際標準ISO 14644-8和國家標準GB/T 36066，潔凈室中的空氣化學污染物可分為八類：酸、堿、有機物、生物毒素、可凝聚物、腐蝕物、摻雜物和氧化物。空氣化學污染物可能導致半導體晶圓表面的污染、腐蝕導線連接等問題，進而危及產品質量。因此，控制微電子潔凈室內的AMC濃度，是提升產品良品率的關鍵。

潔凈（微）環境用材料是潔凈室及相關受控環境中AMC的重要來源之一，應重點關注的材料包括環氧自流平、油漆、密封膠、涂料、膠粘劑、復合材料、潔凈耗材和化學過濾器等。材料釋氣檢測和評估是判斷材料和設備是否滿足潔凈室AMC控制要求的重要手段，是實現空氣化學污染控制的關鍵保障措施。

釋氣檢測的相關標準

1.JACA NO.34《潔凈室構成材料產生的分子污染物測量指南 潔凈室建筑/組合材料排放的空氣分子污染物評估標準》

2.GB/T 25915.15《潔凈室及相關受控環境第15部分:按氣態化學物濃度評定設備及材料的適用性》

3.ISO 16000-9《Indoor air Part 9:Determination of the emission of volatile organic compounds from samples of building products and furnishing-Emission test chamber method》

4.VDI 2083-17《Reinraumtechnik Reinheitstauglichkeit von Werkstoffen Cleanroom technology Compatibility of materials with the required cleanliness》

5.ASTM E595《Standard Test Method forTotal Mass Loss and Collected Volatile Condensable Materials from Outgassing in a Vacuum Environment》

釋氣檢測的流程

材料釋氣評估報告樣例

潔凈室及相關受控環境潔凈環境與裝備測試中心大灣區實驗室長期致力于電子產品制程環境與工藝系統性能檢測與評價、潔凈（微）環境用設備和材料性能研究，根據用戶需求提供檢測、監測、咨詢、認證服務，助力您的潔凈空間升級，守護每一個品質細節。